SEM主動(dòng)隔振平臺(tái)

SEM Base LP是我們的標(biāo)準(zhǔn)SEM Base主動(dòng)壓電振動(dòng)消除平臺(tái)的定制低輪廓版本。SEM Base LP更易于安裝，性能好，并經(jīng)過(guò)人體工程學(xué)優(yōu)化。緊湊的設(shè)計(jì)便于安裝，無(wú)需使用SEM內(nèi)置調(diào)平腳以外的任何東西來(lái)提升掃描電子顯微鏡（SEM）柱。而且，一旦安裝，SEM在地板上方的高度不會(huì)增加。SEM Base LP采用了我們STACIS壓電技術(shù)，具有與我們的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)SEM Base VI相同的振動(dòng)消除性能。SEM Base LP包括腳輪，專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)用于與許多Thermo Fisher Scientific（前FEI）工具集成。

SEM Base LP如何與工具底部框架集成的示例

SEM主動(dòng)隔振平臺(tái)

兼容Thermo Fisher工具型號(hào)

SEM Base LP與許多Thermo Fisher Scientific型號(hào)兼容，包括：

? Apreo公司

? 阿奎洛斯

? 太陽(yáng)神小型雙光束

? Nova納米SEM x50

? Quattro S系列

? Scios公司

? 特內(nèi)奧

? Verios G4公司

? Verios 460、460升

? Versa 3D

如果您的SEM/FIB未列出，請(qǐng)聯(lián)系TMC檢查兼容性。

SEM基礎(chǔ)優(yōu)勢(shì)

硬安裝技術(shù)–SEM底座與內(nèi)部SEM振動(dòng)控制系統(tǒng)兼容，并積極緩解0.6 Hz開(kāi)始的低頻地板振動(dòng)。

主動(dòng)慣性振動(dòng)消除–SEM Base使用高靈敏度、低頻慣性速度傳感器實(shí)現(xiàn)高水平的振動(dòng)衰減，即使在安靜的地板上也是如此。

采用壓電技術(shù)的串行設(shè)計(jì)–串行設(shè)計(jì)和專(zhuān)有的高壓壓電技術(shù)可實(shí)現(xiàn)從0.6 Hz到150 Hz的寬有源帶寬和慣性主動(dòng)振動(dòng)消除，從2 Hz開(kāi)始減少90%。