主動消振隔振系統(tǒng)

TMC繼續(xù)在先進技術的基礎上開發(fā)新的解決方案，以滿足半導體工具對其隔振系統(tǒng)提出的挑戰(zhàn)性要求。Stage-Base 450是專為帶高精度電動X-Y平臺的**半導體工具而設計的主動消振系統(tǒng)。這些工具不但需要極其有效的消振性能，它們還要求由平臺引起的有效載荷運動能夠非常快速地穩(wěn)定，以**限度地提高工具吞吐量。通過增加帶有前饋控制的VCM，可以縮短穩(wěn)定時間，進一步提高吞吐量，從而為移動平臺應用提供**先進的主動振動和運動消除系統(tǒng)。

Stage-Base 450優(yōu)勢

Stage-Base 450采用了下一代主動硬安裝壓電消振集成音圈技術。只有TMC可以提供這種**低頻消振串行型技術，通過使用音圈電機（VCM），實現(xiàn)了主動移動平臺運動消除。

Stage-Base 450下一代主動控制系統(tǒng)采用TMC的STACIS技術。使用壓電致動器和串行式架構中的剛性懸架實現(xiàn)了**的消振。這實現(xiàn)了始于0.6 Hz的業(yè)內**地面隔振，響應于平臺力的初始偏轉明顯更小。

規(guī)格

? 采用STACIS®技術

? 采用高力、加長行程的壓電致動器

? 有效載荷的位置可重復性在微米以內

? 框架安裝設計

? 6個主動自由度

? 可選的VCM前饋和/或反饋

? 始于0.6 Hz的主動隔振

? 響應平臺運動的快速穩(wěn)定時間

? 無軟空氣懸架

? 通過USB 2.0實現(xiàn)基于PC的圖形用戶界面（GUI）的高速數(shù)字控制器

? 簡單、堅固且經(jīng)濟高效

性能

主動消振隔振系統(tǒng) 應用照片